金融界12月23日音讯,有投入资金的人在互动渠道向奥普光电发问:请问教师,超高分辨率汤姆逊散射光谱仪是用于Euv光刻机的,公司正在研制中;请问现在公司最高端的光谱仪能用于DUV光刻机吗?
公司答复表明:超高分辨率激光汤姆逊散射光谱仪为国家重点研制方案项目,方针是研制出原理样机及工程样机,研制周期从2023年12月至2026年11月,现在没有构成产品。
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